美国飞思卡尔半导体(Freescale Semiconductor)发布了汽车用加速度传感器的新系列“MMA6222EG/6255EG/621010EG”。设想配备在汽车的安全气囊上用于碰撞检测。
新产品以该公司的MEMS工艺“HARMEMS”的新技术为基础。HARMEMS通过高深宽比(High Aspect)加工实现了元件的高性能。此次,为了使构成MEMS的结构体不处于过阻尼状态,对其做了进一步改进。
此次发布的产品为10bit数字输出的双轴产品。可检测±20g、±50g及±100g范围内的加速度。