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据介绍,ASML 第一季度的新增订单金额达到 70 亿欧元,其中 25 亿欧元来自 0.33 NA 和 0.55 NA EUV 系统订单以及大量的 DUV 订单。
近日,ASML开始制造新一代极紫外(EUV)光刻机,其每台造价达到了1.5亿美元,约合人民币近10亿元。
尼康起诉ASML光刻技术没有付其专利费,难道真是业界传闻的越有钱越抠,还是另有隐情?
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